Hochschulschrift
Ein anisotroper Plasmaätzprozess in Silizium für die Mikromechanik
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
174 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss., 1995
- Schlagwort
-
Siliciumbauelement
Mikromechanik
Plasmaätzen
- Urheber
-
Hoffmann, Rainer
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:52 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Hoffmann, Rainer
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