Hochschulschrift
Ein anisotroper Plasmaätzprozess in Silizium für die Mikromechanik
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
174 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss., 1995
- Keyword
-
Siliciumbauelement
Mikromechanik
Plasmaätzen
- Creator
-
Hoffmann, Rainer
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:52 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Hoffmann, Rainer
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