Monografie
Planar integriertes Mikromassenspektrometer : Simulation, Ansteuerung und Charakterisierung
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Hamburg, Techn. Univ., Diss., 2009
- Identifier
-
1000397483
Thema
Massenspektrometer ; Mikrosystemtechnik ; Plasma ; Mikrowellenplasma ; Ionenoptik ; MEMS ; Messtechnik; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
Erschienen
[Online-Ausg.]: 2010, [2010]
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:54 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
Entstanden
- [Online-Ausg.]: 2010, [2010]
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