Hochschulschrift
Planar integriertes Mikromassenspektrometer : Simulation, Ansteuerung und Charakterisierung
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Gedr. Ausg. im Verl. Dr. Hut, München
Hamburg, Techn. Univ., Diss., 2009
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Massenspektrometer ; Mikrosystemtechnik ; Plasma ; Mikrowellenplasma ; Ionenoptik ; MEMS ; Messtechnik
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:830-tubdok-8487
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:52 MEZ
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Objekttyp
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Beteiligte
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