Hochschulschrift
Planar integriertes Mikromassenspektrometer : Simulation, Ansteuerung und Charakterisierung
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Gedr. Ausg. im Verl. Dr. Hut, München
Hamburg, Techn. Univ., Diss., 2009
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
Massenspektrometer ; Mikrosystemtechnik ; Plasma ; Mikrowellenplasma ; Ionenoptik ; MEMS ; Messtechnik
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:830-tubdok-8487
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:52 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
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