Hochschulschrift
Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Paderborn, Univ., Diss., 2002
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Rotationssensor
Entwurf
Mikromechanik
Oberflächenmontage
CMOS
Siliciumbauelement
- Urheber
-
Sasse, Philipp Wilhelm
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:466-20020101255
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:48 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Sasse, Philipp Wilhelm
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