Hochschulschrift
Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783540514572
3540514570
9780387514574
0387514570
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
123 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
61 Ill. u. graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Techn.-Hochsch., Diss.
- Erschienen in
-
IPA-IAO-Forschung und Praxis / Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung ; 138
- Schlagwort
-
Halbleitertechnologie
Verunreinigung
Teilchen
Teilchenmesstechnik
Partikelmeßtechnik
Halbleiter
Teilchenmeßtechnik
Teilchenmesstechnik
Halbleiter
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Berlin, Heidelberg, New York, London, Paris, Tokyo, Hong Kong
- (wer)
-
Springer
- (wann)
-
1989
- Urheber
-
Herz, Rolf
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:43 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Herz, Rolf
- Springer
Entstanden
- 1989
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