Hochschulschrift
Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783540514572
3540514570
9780387514574
0387514570
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
123 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
61 Ill. u. graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Techn.-Hochsch., Diss.
- Bibliographic citation
-
IPA-IAO-Forschung und Praxis / Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung ; 138
- Keyword
-
Halbleitertechnologie
Verunreinigung
Teilchen
Teilchenmesstechnik
Partikelmeßtechnik
Halbleiter
Teilchenmeßtechnik
Teilchenmesstechnik
Halbleiter
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Berlin, Heidelberg, New York, London, Paris, Tokyo, Hong Kong
- (who)
-
Springer
- (when)
-
1989
- Creator
-
Herz, Rolf
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:43 PM CEST
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Herz, Rolf
- Springer
Time of origin
- 1989