Hat mitgewirkt an:
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Erarbeitung einer Fertigungstechnologie und Charakterisierungsmethodik für die Herstellung hochsensitiver Vibrationssensoren unter Nutzung des Mikroschweißprozesses
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Erarbeitung einer Fertigungstechnologie und Charakterisierungsmethodik für die Herstellung hochsensitiver Vibrationssensoren unter Nutzung des Mikroschweißprozesses
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Ultra-Low-Voltage Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers with Increased Output Pressure Due to Piston-Structured Plates