Hochschulschrift
Erarbeitung einer Fertigungstechnologie und Charakterisierungsmethodik für die Herstellung hochsensitiver Vibrationssensoren unter Nutzung des Mikroschweißprozesses
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783944640754
3944640756
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
162 Seiten
- Edition
-
[1. Aufl.]
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Illustrationen
Technische Universität Chemnitz, Dissertation, 2016
- Keyword
-
Vibrationssensor
Fertigung
Wafer
Silicium
Mikroschweißen
Vibrationssensor
Mikroschweißen
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Chemnitz
- (who)
-
Universitätsverlag
- (when)
-
2016
- Creator
- Contributor
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:39 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Haubold, Marco
- Universitätsbibliothek. Chemnitz
- Universitätsverlag
Time of origin
- 2016
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