Hochschulschrift

Antriebsprinzipien für aktive mikromechanische Bauelemente auf der Basis polykristalliner Diamantfilme

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ulm, Univ., Diss., 2007

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
MEMS
Mikromechanik
Aktorik
Diamant
FEM
Modellierung
Simulation

Urheber

URN
urn:nbn:de:bsz:289-vts-58417
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:44 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

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