- Alternative title
-
High temperature stable RF MEMS microwave switches
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Saarbrücken, Universität des Saarlandes, Diss., 2010
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Schalter
MEMS
Hochfrequenz
Schaltelement
Hochtemperatur
Maske
Elektrische Spannung
Eigenspannung ; Spezifischer Widerstand ; Sputtern ; Streumatrix ; Temperaturbeständigkeit ; Kantilever ; MEMS
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Saarbrücken
- (who)
-
Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek
- (when)
-
2011
- Creator
- Contributor
-
Seidel, Helmut
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:291-scidok-39774
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:56 PM CET
Data provider
This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Klein, Stefan
- Seidel, Helmut
- Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek
Time of origin
- 2011
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