Herstellung von Nanometer-Strukturen mittels feinfokussiertem Ionenstrahl (FIB)
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
IV, 49 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Mittweida, Hochsch. für Technik und Wirtschaft, Diplomarbeit, 2004
- Erschienen in
-
Wissenschaftlich-technische Berichte / Forschungszentrum Rossendorf ; 402
- Klassifikation
-
Physik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Dresden
- (wer)
-
FZR
- (wann)
-
2004
- Urheber
-
Mucke, Sylvia
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:55 MESZ
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Beteiligte
- Mucke, Sylvia
- FZR
Entstanden
- 2004
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