Hochschulschrift
Herstellung und Charakterisierung dünner Schichten aus Bornitrid
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, Dissertation, 1997
- Schlagwort
-
Bornitrid
Dünne Schicht
Magnetronsputtern
Schichtwachstum
Optische Eigenschaft
Mechanische Eigenschaft
Schichtwachstum
Mikrostruktur
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Chemnitz
- (wer)
-
Universitätsbibliothek Chemnitz
- (wann)
-
1997
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:ch1-199700407
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 11:02 MESZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Hahn, Jens
- Universitätsbibliothek Chemnitz
Entstanden
- 1997
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