Hochschulschrift | Online-Publikation
Entwicklung und Charakterisierung einer neuen Clusterquelle für die Herstellung dünner Schichten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2003
- Keyword
-
Titannitrid
Kunststoffbeschichtung
Clusterstrahl
Teilchenquelle
Cluster ; Beschichtung ; Hohlkathode ; Zerstäubung ; Titannitrid
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:25-opus-7367
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:49 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
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