Hochschulschrift | Online-Publikation
Entwicklung und Charakterisierung einer neuen Clusterquelle für die Herstellung dünner Schichten
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Language
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Deutsch
- Notes
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Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2003
- Keyword
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Titannitrid
Kunststoffbeschichtung
Clusterstrahl
Teilchenquelle
Cluster ; Beschichtung ; Hohlkathode ; Zerstäubung ; Titannitrid
- Creator
- URN
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urn:nbn:de:bsz:25-opus-7367
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
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15.08.2025, 7:27 AM CEST
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Object type
- Hochschulschrift
- Online-Publikation