Hochschulschrift
Die besonderen Bedingungen der Abscheidung von diamantähnlichen Kohlenstoffschichten in Hohlkathodenanordnungen mit hohen Aspektverhältnissen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ilmenau, TU Ilmenau, Dissertation, 2018
- Klassifikation
-
Technische Chemie
- Schlagwort
-
Hohlkathode
Beschichten
Hohlkathodenentladung
Plasma
Beschichtung
Sack
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Ilmenau
- (wer)
-
TU Ilmenau
- (wann)
-
2019
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Ilmenau
- (wer)
-
Universitätsverlag Ilmenau
- (wann)
-
2019
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2018000106
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 10:55 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Benkenstein, Andreas
- Dzur, Birger
- Schaaf, Peter
- Bund, Andreas
- Ilmenau Media Services
- TU Ilmenau
- Universitätsverlag Ilmenau
Entstanden
- 2019
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