Hochschulschrift
Die besonderen Bedingungen der Abscheidung von diamantähnlichen Kohlenstoffschichten in Hohlkathodenanordnungen mit hohen Aspektverhältnissen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ilmenau, TU Ilmenau, Dissertation, 2018
- Classification
-
Technische Chemie
- Keyword
-
Hohlkathode
Beschichten
Hohlkathodenentladung
Plasma
Beschichtung
Sack
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Ilmenau
- (who)
-
TU Ilmenau
- (when)
-
2019
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Ilmenau
- (who)
-
Universitätsverlag Ilmenau
- (when)
-
2019
- Creator
- Contributor
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2018000106
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:55 AM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Benkenstein, Andreas
- Dzur, Birger
- Schaaf, Peter
- Bund, Andreas
- Ilmenau Media Services
- TU Ilmenau
- Universitätsverlag Ilmenau
Time of origin
- 2019
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