Cost effective MEMS fabrication of a Thermoelectric Nanowire Characterization Platform (TNCP)

to connected objects

Abstract: To decrease the cleanroom requirement of a MEMS chip fabrication, Nd:YAG laser machining is integrated into silicon micromachining. However, to get a smooth surface the laser parameters must be chosen carefully, and a subsequent wet chemical etching treatment of the surface is essential.

The process is used to fabricate a Thermoelectric Nanowire Characterization Platform (TNCP). Our TNCPs are designed to measure a single nanowire's thermoelectric properties: heat and electrical conduction, and the Seebeeck coefficient. Furthermore it has the unique ability to also study the crystallographic structure of these nanowires by transmission electron microscopy (TEM)

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch
Notes
Procedia engineering. - 120 (2015) , 210-214, ISSN: 1877-7058

Event
Veröffentlichung
(where)
Freiburg
(who)
Universität
(when)
2019
Creator

DOI
10.1016/j.proeng.2015.08.612
URN
urn:nbn:de:bsz:25-freidok-1266572
Rights
Kein Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:53 PM CET

Data provider

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Time of origin

  • 2019

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