Hochschulschrift
Process development for nanostructuring and 3D micro/nanointegration
- Weitere Titel
-
Prozessentwicklung für Nanostrukturierung und 3D Mikro/Nanointegration
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Berlin, Technische Universtität Berlin, Diss., 2012
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Berlin
- (wer)
-
Universitätsbibliothek der Technischen Universität Berlin
- (wann)
-
2012
- Urheber
-
Senn, Tobias
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Schmidt, Martin
- URN
-
urn:nbn:de:kobv:83-opus-34713
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:53 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Senn, Tobias
- Schmidt, Martin
- Universitätsbibliothek der Technischen Universität Berlin
Entstanden
- 2012
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