Hochschulschrift
Preparation and characterization of carbon nanotube based vertical interconnections for integrated circuits : = Herstellung und Charakterisierung von auf Kohlenstoffnanoröhren basierenden vertikalen Kontakten im Metallisierungssystem für integrierte Schaltkreise
- Alternative title
-
Herstellung und Charakterisierung von auf Kohlenstoffnanoröhren basierenden vertikalen Kontakten im Metallisierungssystem für integrierte Schaltkreise
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783944640235
- Dimensions
-
25 cm
- Extent
-
193 S.
- Language
-
Englisch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2014
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
ULSI
Integration
Kohlenstoff-Nanoröhre
Durchkontaktieren
Metallisieren
Kontaktwiderstand
Elektrische Eigenschaft
CVD-Verfahren
Integration
Metall
Rasterkraftmikroskopie
Kontakt
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:52 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Fiedler, Holger
- Univ.-Verl.
Time of origin
- 2014
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