Hochschulschrift

Preparation and characterization of carbon nanotube based vertical interconnections for integrated circuits : = Herstellung und Charakterisierung von auf Kohlenstoffnanoröhren basierenden vertikalen Kontakten im Metallisierungssystem für integrierte Schaltkreise

Weitere Titel
Herstellung und Charakterisierung von auf Kohlenstoffnanoröhren basierenden vertikalen Kontakten im Metallisierungssystem für integrierte Schaltkreise
Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783944640235
Maße
25 cm
Umfang
193 S.
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2014

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
ULSI
Integration
Kohlenstoff-Nanoröhre
Durchkontaktieren
Metallisieren
Kontaktwiderstand
Elektrische Eigenschaft
CVD-Verfahren
Integration
Metall
Rasterkraftmikroskopie
Kontakt

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Chemnitz
(wer)
Univ.-Verl.
(wann)
2014
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:52 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2014

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