Hochschulschrift
Reaktor- und Prozeßoptimierung bei der metallorganischen Gasphasenepitaxie von III-V-Verbindungshalbleitern
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826562136
3826562135
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
V, 187 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999
- Schlagwort
-
Drei-Fünf-Halbleiter
MOCVD-Verfahren
Chemischer Reaktor
Prozessoptimierung
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 11:58 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Dauelsberg, Martin
- Shaker
Entstanden
- 1999
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