Hochschulschrift

Reaktor- und Prozeßoptimierung bei der metallorganischen Gasphasenepitaxie von III-V-Verbindungshalbleitern

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783826562136
3826562135
Dimensions
21 cm
Extent
V, 187 S.
Edition
Als Ms. gedr.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999

Keyword
Drei-Fünf-Halbleiter
MOCVD-Verfahren
Chemischer Reaktor
Prozessoptimierung

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Shaker
(when)
1999
Creator

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Last update
11.03.2025, 11:58 AM CET

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Object type

  • Hochschulschrift

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Time of origin

  • 1999

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