Hochschulschrift
Untersuchungen zur Herstellung höherer Silane für die Si-CVD
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Frankfurt am Main, Johann Wolfgang Goethe-Univ., Diss., 2014
- Klassifikation
-
Chemie
- Schlagwort
-
Silane
Silicium
Trichlorsilan
Beschichten
Siliciumtetrachlorid
Ausgangsmaterial
Elektronenstrahl-Beschichtung
Amorpher Zustand
Silan
Kupplungsreaktion
Chemische Synthese
Cyclopentasilan
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Frankfurt am Main
- (wer)
-
Univ.-Bibliothek Frankfurt am Main
- (wann)
-
2015
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Terfort, Andreas
Auner, Norbert
- URN
-
urn:nbn:de:hebis:30:3-365425
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:54 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Kämpken, Britta
- Terfort, Andreas
- Auner, Norbert
- Univ.-Bibliothek Frankfurt am Main
Entstanden
- 2015
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