Hochschulschrift

Untersuchungen zur Herstellung höherer Silane für die Si-CVD

to connected objects

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Deutsch
Notes
Frankfurt am Main, Johann Wolfgang Goethe-Univ., Diss., 2014

Classification
Chemie
Keyword
Silane
Silicium
Trichlorsilan
Beschichten
Siliciumtetrachlorid
Ausgangsmaterial
Elektronenstrahl-Beschichtung
Amorpher Zustand
Silan
Kupplungsreaktion
Chemische Synthese
Cyclopentasilan

Event
Veröffentlichung
(where)
Frankfurt am Main
(who)
Univ.-Bibliothek Frankfurt am Main
(when)
2015
Creator
Contributor
Terfort, Andreas
Auner, Norbert

URN
urn:nbn:de:hebis:30:3-365425
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:54 PM CET

Data provider

This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Show original at data provider

Object type

  • Hochschulschrift

Associated

  • Kämpken, Britta
  • Terfort, Andreas
  • Auner, Norbert
  • Univ.-Bibliothek Frankfurt am Main

Time of origin

  • 2015

Other Objects (12)

Si-funktionelle (Trifluormethyl)silane

Hochschulschrift

Si-funktionelle (Trifluormethyl)silane

Herstellung und Einsatz CVD-diamantbeschichteter Bohrgewindefräser

Hochschulschrift

Herstellung und Einsatz CVD-diamantbeschichteter Bohrgewindefräser

Herstellung und Einsatz CVD-diamantbeschichteter Bohrgewindefräser

Hochschulschrift

Herstellung und Einsatz CVD-diamantbeschichteter Bohrgewindefräser

Ionenbeschuss-induzierte Nukleation von CVD-Diamant auf Si

Hochschulschrift

Ionenbeschuss-induzierte Nukleation von CVD-Diamant auf Si

Iodo­(triphen­yl)silane

Iodo­(triphen­yl)silane

Neue CVD-Verfahren zur Herstellung dünner Halbleiterschichten

Hochschulschrift

Neue CVD-Verfahren zur Herstellung dünner Halbleiterschichten

Low dimensional Si-SiGe structures deposited by UHV-CVD for thermophotovoltaics

Hochschulschrift

Low dimensional Si-SiGe structures deposited by UHV-CVD for thermophotovoltaics

Untersuchungen über Alkoxy-alkylidenaminooxy-silane

Hochschulschrift

Untersuchungen über Alkoxy-alkylidenaminooxy-silane

Über die Darstellung cyclischer Silane

Hochschulschrift

Über die Darstellung cyclischer Silane

Zur Darstellung neuerer heterocyclischer Silane

Hochschulschrift

Zur Darstellung neuerer heterocyclischer Silane

Über die Darstellung macrocyclischer Silane

Hochschulschrift

Über die Darstellung macrocyclischer Silane

A new pseudopolymorph of perchlorinated neo­penta­silane: the benzene monosolvate Si(SiCl3)4·C6H6

A new pseudopolymorph of perchlorinated neo­penta­silane: the benzene monosolvate Si(SiCl3)4·C6H6

Related objects