Hochschulschrift

Electromigration behavior of a multi-layer metallization

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783896493064
389649306X
Maße
21 cm
Umfang
X, 137 S.
Ausgabe
1. Aufl.
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Zürich, Eidgenössische Techn. Hochsch., Diss., 1998

Erschienen in
Series in microelectronics ; Vol. 74

Schlagwort
CMOS
Zuverlässigkeit
Elektromigration
Metallisieren
Mikrostruktur
Oberflächenanalyse

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Konstanz
(wer)
Hartung-Gorre
(wann)
1998
Urheber
Schönbächler, Edgar Arthur

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 12:28 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Schönbächler, Edgar Arthur
  • Hartung-Gorre

Entstanden

  • 1998

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