Hochschulschrift
Mikro- und nanoelektromechanische Resonatoren für die Sensorik
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832252755
3832252754
- Maße
-
21 cm, 270 gr.
- Umfang
-
162 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2005
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Siliciumcarbid
Resonator
Halbleitersensor
MEMS
CVD-Verfahren
Halbleitertechnologie
Siliciumcarbid
Resonator
Halbleitersensor
Nanotechnologie
CVD-Verfahren
Halbleitertechnologie
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:13 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Förster, Christian
- Shaker
Entstanden
- 2006
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