Hochschulschrift
Mikro- und nanoelektromechanische Resonatoren für die Sensorik
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832252755
3832252754
- Dimensions
-
21 cm, 270 gr.
- Extent
-
162 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2005
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
Siliciumcarbid
Resonator
Halbleitersensor
MEMS
CVD-Verfahren
Halbleitertechnologie
Siliciumcarbid
Resonator
Halbleitersensor
Nanotechnologie
CVD-Verfahren
Halbleitertechnologie
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 12:10 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Förster, Christian
- Shaker
Time of origin
- 2006
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