Hochschulschrift
Multilayerbearbeitung mit Excimer-Laserstrahlung für die integrierte Optoelektronik und Sensorik
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826575648
3826575644
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
VI, 120 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000
- Schlagwort
-
Integrierte Optoelektronik
Mehrschichtleiterplatte
Wafer
Lithografie
Excimerlaser
Prozessanalyse
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 11:46 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Sommer, Martin H.
- Shaker
Entstanden
- 2000
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