Hochschulschrift

Metallorganische Gasphasenepitaxie von (Ga, In, Al)N-Halbleiterschichten auf Silizium-Substraten

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783896853851
3896853856
Dimensions
21 cm
Extent
VI, 159 S.
Edition
1. Aufl.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2002

Bibliographic citation
Berlin studies in solid state physics ; Nr. 9

Keyword
Borgruppennitride
Dünne Schicht
Silicium
Halbleitersubstrat
MOCVD-Verfahren

Event
Veröffentlichung
(where)
Berlin
(who)
Wiss.-und-Technik-Verl.
(when)
2002
Creator
Strittmatter, André

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Last update
11.06.2025, 2:08 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

  • Strittmatter, André
  • Wiss.-und-Technik-Verl.

Time of origin

  • 2002

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