Selektive metallorganische Gasphasenepitaxie für (quasi-)vertikale GaN-basierte Leistungsbauelemente

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, Dissertation, 2022

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
Galliumnitrid
MOCVD-Verfahren
Siliciumcarbid
Durchschlagfestigkeit
Leistungstransistor
Aluminiumnitrid

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
(wann)
2022
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Vescan, Andrei
Scholz, Ferdinand

DOI
10.18154/RWTH-2022-03893
URN
urn:nbn:de:101:1-2022051803300452515067
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:54 MEZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2022

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