Monografie
Siliziumkarbidelektronik : technologische und werkstoffwissenschaftliche Untersuchungen zur Metallisierung, Kontaktierung
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2004
- Identifier
-
974849847
Subject
Ionenimplantation ; Ausheilung ; Wolfram ; Siliciumcarbid; Metallisieren; Ohm-Kontakt; Hochschulschrift
Contributor
- URN
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
26.01.2023, 1:52 PM CET
Object type
- Monografie
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