Hochschulschrift

Siliziumkarbidelektronik : technologische und werkstoffwissenschaftliche Untersuchungen zur Metallisierung, Kontaktierung

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Deutsch
Notes
Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2004

Classification
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Keyword
Siliciumcarbid
Ionenimplantation
Ausheilung
Metallisieren
Wolfram
Ohm-Kontakt
Siliciumcarbid
Metallisieren
Ohm-Kontakt

Creator

URN
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2004000060
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
15.08.2025, 7:33 AM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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