Hochschulschrift
CMOS-Prozessintegration von epitaktischen Selten-Erden-Oxiden als high-K-Dielektrika auf SOI-Substraten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832270445
3832270442
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
II, 131 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
SOI-Technik
CMOS
High-k-Dielektrikum
Seltenerdmetall
Gate-Oxid
Epitaxieschicht
SOI-Technik
MOS-FET
High-k-Dielektrikum
Seltenerdmetall
Gate-Oxid
Epitaxieschicht
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Shaker
- (when)
-
2008
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:53 PM CEST
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
Time of origin
- 2008
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