Hochschulschrift

Untersuchungen zur Anwendbarkeit Ruthenium-basierter Schichten für die Verdrahtung integrierter Schaltkreise

zu Verbundenen Objekten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783863869625
3863869621
Maße
21 cm, 287 g
Umfang
X, 164 S.
Ausgabe
1. Aufl.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Hergestellt on demand
Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2012

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
Integrierte Schaltung
Kupfer
Metallisieren
Verdrahtung
Ruthenium
Mehrschichtsystem
PVD-Verfahren
Atomlagenabscheidung

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Berlin
(wer)
Pro Business
(wann)
2013
Urheber

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:16 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2013

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