Hochschulschrift | Online-Publikation

Theoretical and experimental studies related to the compositional and microstructural evolution of alumina thin films

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch
Notes
Aachen, Techn. Hochsch.,, Diss., 2004

Classification
Physik
Keyword
Aluminiumoxide
Schichtwachstum
PVD-Verfahren
Bogenplasma

Creator

URN
urn:nbn:de:hbz:82-opus-9889
urn:nbn:de:hbz:82-20042519
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:49 PM CET

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Object type

  • Hochschulschrift
  • Online-Publikation

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