Hochschulschrift

Eigenschaften ionenstrahlgesputteter optischer SiO2- und TiO2-Schichten bei unterschiedlichen Wachstumsbedingungen und Veränderungen bei thermischer Nachbehandlung

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783896752673
3896752677
Maße
21 cm
Umfang
127 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
graph. Darst.
Zugl.: Darmstadt, Techn. Univ., Diss., 1997

Schlagwort
Siliciumdioxid
Sputtern
Optische Schicht
Schichtwachstum
Absorption
Sauerstoff
Siliciumdioxid
Sputtern
Optische Schicht
Schichtwachstum
Tempern
Optische Eigenschaft
Titandioxid
Sputtern
Optische Schicht
Schichtwachstum
Absorption
Sauerstoff
Titandioxid
Sputtern
Optische Schicht
Schichtwachstum
Tempern
Optische Eigenschaft

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
München
(wer)
Utz, Wiss.
(wann)
1997
Urheber

Inhaltsverzeichnis
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 12:08 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 1997

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