Hochschulschrift
Contact related Failure Detection of Semiconductor Layer Stacks using an Acoustic Emission Test Method
- Alternative title
-
Detektion von kontaktinduzierten Beschädigungen an Halbleiterschichten unter Anwendung der Schallemissionsprüfung
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Englisch
- Notes
-
Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), Dissertation, 2019
- Bibliographic citation
-
FAU Forschungen, Reihe B, Medizin, Naturwissenschaft, Technik ; 33
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Infineon Technologies AG
Wafer
Halbleiterschicht
Schallemissionsanalyse
Rissbildung
Härteeindruck
Werkstoffschädigung
Halbleitertechnologie
Kontaktieren
Acoustic emission
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Erlangen
- (who)
-
FAU University Press
- (when)
-
2020
- Creator
- Contributor
-
Weigel, Robert
Pfitzner, Lothar
Holmer, Rainer
- DOI
-
10.25593/978-3-96147-306-9
- URN
-
urn:nbn:de:bvb:29-opus4-144784
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:52 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Unterreitmeier, Marianne
- Weigel, Robert
- Pfitzner, Lothar
- Holmer, Rainer
- FAU University Press
Time of origin
- 2020
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