Hochschulschrift
Contact related failure detection of semiconductor layer stacks using an acoustic emission test method
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783961473052
3961473056
- Maße
-
24 cm, 641 g
- Umfang
-
xxiv, 234 Seiten
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Illustrationen, Diagramme
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, Dissertation, 2019
- Erschienen in
-
FAU Forschungen ; Band 33Reihe B
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Wafer
Halbleiterschicht
Schallemissionsanalyse
Rissbildung
Härteeindruck
Werkstoffschädigung
Halbleitertechnologie
Kontaktieren
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Erlangen
- (wer)
-
FAU University Press
- (wann)
-
2020
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:31 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
Entstanden
- 2020
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