Hochschulschrift
Contact related Failure Detection of Semiconductor Layer Stacks using an Acoustic Emission Test Method
- Weitere Titel
-
Detektion von kontaktinduzierten Beschädigungen an Halbleiterschichten unter Anwendung der Schallemissionsprüfung
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), Dissertation, 2019
- Erschienen in
-
FAU Forschungen, Reihe B, Medizin, Naturwissenschaft, Technik ; 33
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Infineon Technologies AG
Wafer
Halbleiterschicht
Schallemissionsanalyse
Rissbildung
Härteeindruck
Werkstoffschädigung
Halbleitertechnologie
Kontaktieren
Acoustic emission
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Erlangen
- (wer)
-
FAU University Press
- (wann)
-
2020
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Weigel, Robert
Pfitzner, Lothar
Holmer, Rainer
- DOI
-
10.25593/978-3-96147-306-9
- URN
-
urn:nbn:de:bvb:29-opus4-144784
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 10:52 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Unterreitmeier, Marianne
- Weigel, Robert
- Pfitzner, Lothar
- Holmer, Rainer
- FAU University Press
Entstanden
- 2020
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