Hochschulschrift
Untersuchung der Relaxation elastischer Spannungen durch Helium-Implantation und thermische Behandlung in Si1-xGex/Si-Heterostrukturen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:82-opus-15295
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.20252025, 9:01 PM CEST
Data provider
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Object type
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