Hochschulschrift
cw-laserinduzierte Rekristallisation ionenimplantierter amorphisierter (100)Silizium-Oberflächenschichten [Silizium-Oberflächenschichten]
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
59, [11] Bl.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
57 Ill. u. graph. Darst.
Jena, Univ., Diss. A, 1984 (Nicht f.d. Austausch)
- Keyword
-
Halbleiterbauelemente
Ionenimplantation
Halbleiterbauelement
Ionenimplantation
- Creator
-
Hedler, Harry
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:56 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Hedler, Harry
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