Matrix laser cleaning: a new technique for the removal of nanometer sized particles from semiconductors

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
In: Applied Physics ; 88 (2007), 2. - S. 277-230

Classification
Physik

Event
Veröffentlichung
(where)
Konstanz
(who)
Bibliothek der Universität Konstanz
(when)
2007
Creator
Graf, Johannes
Luk'jancuk, Boris S.
Mosbacher, Mario
Hong, Ming Hui
Chong, Chong T.
Boneberg, Johannes
Leiderer, Paul

URN
urn:nbn:de:bsz:352-opus-31063
Rights
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Last update
14.08.2025, 11:00 AM CEST

Data provider

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  • Graf, Johannes
  • Luk'jancuk, Boris S.
  • Mosbacher, Mario
  • Hong, Ming Hui
  • Chong, Chong T.
  • Boneberg, Johannes
  • Leiderer, Paul
  • Bibliothek der Universität Konstanz

Time of origin

  • 2007

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