Matrix laser cleaning: a new technique for the removal of nanometer sized particles from semiconductors
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
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Online-Ressource
- Language
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Englisch
- Bibliographic citation
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In: Applied Physics ; 88 (2007), 2. - S. 277-230
- Classification
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Physik
- Event
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Veröffentlichung
- (where)
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Konstanz
- (who)
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Bibliothek der Universität Konstanz
- (when)
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2007
- Creator
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Graf, Johannes
Luk'jancuk, Boris S.
Mosbacher, Mario
Hong, Ming Hui
Chong, Chong T.
Boneberg, Johannes
Leiderer, Paul
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:352-opus-31063
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 11:00 AM CEST
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Associated
- Graf, Johannes
- Luk'jancuk, Boris S.
- Mosbacher, Mario
- Hong, Ming Hui
- Chong, Chong T.
- Boneberg, Johannes
- Leiderer, Paul
- Bibliothek der Universität Konstanz
Time of origin
- 2007