- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783800734528
- Maße
-
25 cm
- Umfang
-
414 S.
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Literaturangaben
- Schlagwort
-
Chemisch-mechanisches Polieren
Chemisch-mechanisches Polieren
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Berlin, Offenbach
- (wer)
-
VDE-Verl.
- (wann)
-
2012
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Zwicker, Gerfried
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie
GMM VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- u. Feinwerktechnik
ICPT (2012 : Grenoble)
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:35 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
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Objekttyp
- CD-ROM
- Konferenzschrift
- Kongress
Beteiligte
- Zwicker, Gerfried
- Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie
- GMM VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- u. Feinwerktechnik
- ICPT (2012 : Grenoble)
- VDE-Verl.
Entstanden
- 2012
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