Hochschulschrift | Online-Publikation
Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis mittels thermischer Plasmen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Chemnitz, Univ., Diss., 2002
- Classification
-
Industrielle und handwerkliche Fertigung
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
Siliciumcarbid
PECVD-Verfahren
Prozessführung
Siliciumnitrid
PECVD-Verfahren
Prozessführung
Emissionsspektroskopie
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:ch1-200200730urn:nbn:de:swb:ch1-200200738
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:36 AM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
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