Hochschulschrift
Entwurf einer modularen Steuerung für Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783939473237
3939473235
- Dimensions
-
21 cm, 200 gr.
- Extent
-
IX, 121 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2007
- Keyword
-
Positionierantrieb
Präzisionsmessung
Nanometerbereich
Steuerungssystem
Modulares Softwaresystem
XML
Positionierantrieb
Präzisionsmessung
Nanometerbereich
Teleservice
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 11:41 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Frank, Sebastian
- Univ.-Verl.
Time of origin
- 2007
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