Hochschulschrift

Entwurf einer modularen Steuerung für Nanopositionier- und Nanomessmaschinen

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783939473237
3939473235
Maße
21 cm, 200 gr.
Umfang
IX, 121 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2007

Schlagwort
Positionierantrieb
Präzisionsmessung
Nanometerbereich
Steuerungssystem
Modulares Softwaresystem
XML
Positionierantrieb
Präzisionsmessung
Nanometerbereich
Teleservice

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Ilmenau
(wer)
Univ.-Verl.
(wann)
2007
Beteiligte Personen und Organisationen

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 11:41 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2007

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