Hochschulschrift
Arrays miniaturisierter Elektronenoptiken mittels Halbleiter- und Mikromechaniktechnologien für die parallele Elektronenstrahl-Lithographie
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783897222212
3897222213
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
III, 86 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Tübingen, Univ., Diss., 1999
- Keyword
-
Array
Elektronenoptik
Miniaturisierung
Elektronenstrahllithografie
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Berlin
- (who)
-
Logos-Verl.
- (when)
-
1999
- Creator
-
Gross, Harald
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:45 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Gross, Harald
- Logos-Verl.
Time of origin
- 1999
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