Lateral Selective SiGe Growth for Local Dislocation-Free SiGe-on-Insulator Virtual Substrate Fabrication

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
In: ECS Journal of Solid State Science and Technology, 12, S.

Event
Veröffentlichung
(where)
Wildau
(who)
Technische Hochschule Wildau
(when)
2023
Creator
Anand, Ketan
Schubert, Markus Andreas
Corley-Wiciak, Agnieszka Anna
Spirito, Davide
Corley-Wiciak, Cedric
Klesse, Wolfgang M.
Mai, Andreas
Tillack, Bernd
Yamamoto, Yuji

URN
urn:nbn:de:kobv:526-opus4-17013
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:53 PM CET

Data provider

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  • Anand, Ketan
  • Schubert, Markus Andreas
  • Corley-Wiciak, Agnieszka Anna
  • Spirito, Davide
  • Corley-Wiciak, Cedric
  • Klesse, Wolfgang M.
  • Mai, Andreas
  • Tillack, Bernd
  • Yamamoto, Yuji
  • Technische Hochschule Wildau

Time of origin

  • 2023

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