Konferenzschrift | Kongress
Proceedings / Organic Contamination Workshop, SEMICON Europa 2000 : Munich, Germany, April 7, 2000
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783816755517
3816755518
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
203 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Literaturangaben
- Schlagwort
-
Halbleitertechnologie
Kontamination
Organische Verbindungen
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Stuttgart
- (wer)
-
Fraunhofer-IRB-Verl.
- (wann)
-
2000
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Pfitzner, Lothar
Organic Contamination Workshop (2 : 2000 : München)
SEMICON Europa (2000 : München)
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:34 MESZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Konferenzschrift
- Kongress
Beteiligte
- Pfitzner, Lothar
- Organic Contamination Workshop (2 : 2000 : München)
- SEMICON Europa (2000 : München)
- Fraunhofer-IRB-Verl.
Entstanden
- 2000
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