Monografie

Particle transport in technological plasmas

Sprache
Englisch
Identifier
1137379898

Thema
Simulation; Entladung; Sputtern; Kinetische Theorie; Abscheidung; Hochschulschrift

Beteiligte Personen und Organisationen
Trieschmann, Jan
Mussenbrock, Thomas
Awakowicz, Peter

URN
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
26.01.2023, 13:53 MEZ

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Objekttyp

  • Monografie

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