Charakterisierung und Regelung von Hochfrequenz-Plasmen zur Sputterabscheidung unter Berücksichtigung der Elektronendynamik und des Magnetischen Asymmetrieeffekts
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2020
- Keyword
-
Plasma
Hochfrequenzplasma
Massenresonanz
Plasmadiagnostik
Elektrode
Sputtern
Plasma
Multipolresonanz
Plasmadiagnostik
Hochfrequenzplasma
Sputtern
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Bochum
- (who)
-
Ruhr-Universität Bochum
- (when)
-
2020
- Creator
- Contributor
-
Awakowicz, Peter
Brinkmann, Ralf Peter
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:294-73754
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:46 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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Associated
- Oberberg, Moritz
- Awakowicz, Peter
- Brinkmann, Ralf Peter
- Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
- Ruhr-Universität Bochum
Time of origin
- 2020
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