Hochschulschrift
Mikro-Nano-Integration für metallische Mikrosysteme mit vertikal integrierten Federelementen
- Alternative title
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Micro Nano Integration for Metallic Microsystems applying Vertically Integrated Suspension Elements
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
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Online-Ressource
- Language
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Deutsch
- Notes
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Darmstadt, Technische Universität Darmstadt, Dissertation, 2013
- Bibliographic citation
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Institut für Elektromechanische Konstruktionen ; 30
- Event
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Veröffentlichung
- (where)
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Darmstadt
- (who)
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Universitäts- und Landesbibliothek Darmstadt
- (when)
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2013
- Creator
- Contributor
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Schlaak, Helmut F.
- URN
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urn:nbn:de:tuda-tuprints-36406
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:57 AM CEST
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Greiner, Felix
- Schlaak, Helmut F.
- Universitäts- und Landesbibliothek Darmstadt
Time of origin
- 2013