Monografie
Mikro-Nano-Integration für metallische Mikrosysteme mit vertikal integrierten Federelementen
- Sprache
-
Deutsch
- Identifier
-
1107772052
- Reihe
-
Institut für Elektromechanische Konstruktionen; 30
Thema
Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:53 MEZ
Objekttyp
- Monografie
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